第287章 因为她看见了（2/2）

“三号镜，抬高。”

“五号镜，锁死。”

“看掩膜版。”

她声音不大。

却像一把冰冷的锤子，砸进每个人耳朵里。

操作员猛地回神，扑向副屏。

画面切换。

那道被强行归正的极紫外光束，穿透复杂到令人窒息的镜头群，最终精准轰击在掩膜版之上。

嗤！

一声极轻的灼响。

光，咬住了。

“聚焦成功！”

“主焦点锁定成功！”

会场里先是一静。

紧接着。

轰！

整个主控区像炸了一样。

“成了！”

“真的聚住了！”

“曝光！快上曝光程序！”

程美丽一掌拍下执行键。

啪！

晶圆工件台开始高速平移。

涂满极紫外光刻胶的八英寸晶圆，在真空吸附台上稳稳前送。

那束杀穿所有封锁的极紫外光，透过掩膜版，在晶圆表面留下一道又一道肉眼不可见的微观刻痕。

全场没人再说话。

只剩设备运转的低沉轰鸣。

还有众人压得发疼的呼吸。

三分钟后。

滴！

曝光结束。

晶圆被机械抓手缓缓送出，推入显影清洗区。

化学显影液如细雨般淋下。

冲洗。

定型。

白色水雾弥散在玻璃罩内，遮得人眼前发白。

“出来了。”

程美丽开口。

机械抓手应声探出，将首片曝光后的晶圆平稳夹起，送向最高精度电子显微镜平台。

李副部长站在显微镜前，手都不知道该往哪放。

一名院士死死抓着自己的老花镜，指节泛白。

程美丽走过去，亲手转动焦距旋钮。

咔。

目镜锁定。

她低头看了一眼。

没说话。

直接抬手把显微镜画面投上了主屏。

嗡！

巨幕亮起。

一片安静得近乎完美的微观世界，瞬间铺满全场视野。

晶格。

线路。

一道道细密到让人头皮发麻的电路纹路，整整齐齐排布在硅片之上。

每一条边缘都锋利。

每一个拐角都干净。

没有塌陷。

没有毛刺。

没有任何因为失焦带来的烧灼和畸变。

主屏右上角，自动检测数值缓缓跳出。

0.5微米。

李副部长盯着那串数字，整个人像是被雷劈中了。

“零点……五……”

他张了张嘴，声音却卡在嗓子里。

下一秒。

他猛地抬起手，死死捂住自己的脸。

肩膀剧烈发抖。

“成了……”

“成了啊！”

这声吼出来的时候，整个车间彻底炸了。

欢呼声。

拍桌声。

金属栏杆被砸得咣咣作响。

两名头发花白的院士当场红了眼，摘下眼镜抹脸，动作都在抖。

其余人的反应彻底失控，几个人抱在一起，几个人高高举起图纸，像疯了一样吼。

但这些声音，都被程美丽扔在了身后。

她站在大屏前，盯着那片0.5微米的完美晶格，眼神却没有松下来。

因为她看见了。

在主屏最下方，一块被自动放大的微观区域里。

某一道细密电路的边缘，正浮起一小片不正常的暗红色热斑。

不大。

只有针尖那么一点。

却像一根细针，刺进了她的眼底。

她没有出声。

只是抬起手，用指尖轻轻敲了两下冰冷的显微镜外壳。

笃。

笃。

主屏右下角的工艺流程时间提示，还在冷冰冰地跳。

距离芯片蚀刻工序开始。

还剩2小时。